西北地区首条硅光中试线通线

　　11月4日，陕西光电子先导院宣布其建设的8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线。这是西北地区首条硅光中试线，将为国内光子产业各类创新主体提供多种类型光电、硅光芯片的研发和中试服务，为陕西光子产业延链补链提供有力支撑。

　　光子技术是新一轮科技革命的引领性技术。2021年，陕西立足自身优势，前瞻布局，在国内率先发布“追光计划”，推动光子产业集群快速壮大。4年来，陕西光子产业实现跨越式成长，企业数量攀升至370多家，产业规模从150亿元跃升至365亿元，初步构建起“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链条。

　　“硅光技术是AI算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑。”陕西光电子先导院总经理杨军红说，全球硅光中试资源大多掌握在欧美企业手中。国内企业依托国外平台流片要支付高昂费用，且面临流片周期长、产能优先供给受限等问题。自建产线则要巨额投入，这让中小企业和科研团队望而却步。

　　为破解这一困境，2023年，陕西光电子先导院总投资7.5亿元启动建设8英寸先进硅光集成技术创新平台，引进比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，并引入光刻、刻蚀等60多台(套)关键核心设备，构建起自主可控的先进工艺体系。

　　“在陕西进行中试，排队时间短、效率高，速度比在国外快5倍以上。”深圳瑞识智能科技有限公司董事长汪洋说。

　　“8英寸先进硅光集成技术创新平台通线弥补了陕西在硅光芯片中试领域的短板。未来，该平台将加速应用于人工智能、光通信、光计算、低空飞行、医疗健康等领域产品的迭代进程。”杨军红介绍，8英寸先进硅光集成技术创新平台已与10余家头部企业达成意向合作协议，并吸引多家外地企业聚集陕西。

　　杨军红说：“我们将发挥国家级光电子集成产业中试平台优势，积极构建‘化合物半导体+硅光+异质异构集成’三位一体的平台架构，实现从材料生长、芯片制程、器件封装到系统测试的全链条覆盖，助力陕西建设光子产业高地。”

　　(记者 苏怡 田若楠)